Ny famolavolana optika dia manana fampiharana maro samihafa amin'ny sehatry ny semiconductor. Ao amin'ny milina photolithography, ny rafitra optika dia tompon'andraikitra amin'ny fifantohana amin'ny taratra hazavana avoakan'ny loharanon-jiro ary mamolavola izany eo amin'ny wafer silisiôma mba hampisehoana ny lamin'ny circuit. Noho izany, ny famolavolana sy ny fanatsarana ny singa optika ao amin'ny rafitra photolithography dia fomba iray manan-danja hanatsarana ny fahombiazan'ny milina photolithography. Ireto manaraka ireto ny sasany amin'ireo singa optika ampiasaina amin'ny milina photolithography:
Tanjona projection
01 Ny tanjon'ny vinavina dia singa optika manan-danja amin'ny milina litôgrafia, matetika ahitana andiam-panana iray ahitana lantihy miendrika, lenta miendrika, ary prisma.
02 Ny asany dia ny mampihena ny lamin'ny fizaran-tany eo amin'ny saron-tava ary mampifantoka azy amin'ny wafer voarakotra photoresist.
03 Ny fahitsiana sy ny fanatanterahana ny tanjona projection dia misy fiantraikany lehibe amin'ny famahana sy ny kalitaon'ny sary amin'ny milina lithography.
fitaratra
01 fitaratradia ampiasaina hanovana ny làlan'ny hazavana sy hitarika azy amin'ny toerana mety.
02 Ao amin'ny milina litografika EUV, ny fitaratra dia tena zava-dehibe satria ny hazavana EUV dia mora raisina amin'ny fitaovana, noho izany dia tsy maintsy ampiasaina ny fitaratra misy tara-pahazavana avo.
03 Misy fiantraikany lehibe amin'ny fiasan'ny milina lithography koa ny fahamarinan'ny ety sy ny fahamarinan'ny reflektera.
sivana
01 Ny sivana dia ampiasaina hanesorana ny halavan'ny onjam-pahazavana tsy ilaina, hanatsara ny fahitsiana sy ny kalitaon'ny fizotran'ny photolithography.
02 Amin'ny fisafidianana ny sivana mety, dia azo antoka fa ny hazavana amin'ny halavan'ny onjam-peo manokana ihany no miditra ao amin'ny milina lithography, ka manatsara ny fahamarinan'ny fizotry ny lithography.
Prisms sy singa hafa
Ankoatr'izay, ny milina lithography dia mety mampiasa singa optika fanampiny hafa, toy ny prisma, polarizer, sns., mba hamenoana ny fepetra takian'ny lithography manokana. Ny fifantenana, ny famolavolana ary ny fanamboarana ireo singa optika ireo dia tsy maintsy manaraka tanteraka ny fenitra ara-teknika sy ny fepetra ilaina mba hiantohana ny fahamendrehana sy ny fahombiazan'ny milina lithography.
Raha fintinina, ny fampiharana ny singa optika eo amin'ny sehatry ny milina lithography dia mikendry ny hanatsara ny fahombiazan'ny famokarana sy ny fahombiazan'ny milina lithography, ka manohana ny fampandrosoana ny indostrian'ny famokarana microelectronics. Miaraka amin'ny fivoarana mitohy amin'ny teknolojia lithography, ny fanatsarana sy ny fanavaozana ny singa optika dia hanome fahafaha-manao lehibe kokoa amin'ny fanamboarana chips manaraka.
Raha mila fanazavana fanampiny sy toro-hevitra manam-pahaizana dia tsidiho ny tranokalanay amin'nyhttps://www.jiujonoptics.com/mba hianatra bebe kokoa momba ny vokatra sy ny vahaolana.
Fotoana fandefasana: Jan-02-2025
